온실가스 저감시설 효율분석 시스템(QMS)

Greenhouse Gas Reduction Facility Efficiency Analysis System(QMS)

isepa-s는 기존의 isepa와 달리 실시간 측정과 이동이 가능한 QMS가스분석 시스템입니다. FTIR에서 측정이 불가능한 Kr과 같은 단원자분자량의 농도를 이용하여 전체 유량을 계산합니다.

isepa-s is a QMS gas analysis system that can measure and move in real time, unlike the existing isepa.

Sampling과정을 거치지 않고 바로 타겟가스를 주입하는 방식으로 측정하려는 환경의 특성상 시료포집이 용이하지 않은 경우에 선택하실 수 있습니다.

The total flow rate is calculated by measuring the concentration of monoatomic molecules such as Kr that cannot be detected by FTIR.

isepa-s는 현재 온실가스 배출권거래제 사업에 참여하는 반도체/디스플레이 온실가스 저감장치 효율측정의 표준모델로 삼성전자, GST, 에코프로 등 수많은 기업에서 사용하고 있습니다.

isepa-s is currently used by numerous companies such as Samsung Electronics, GST, and Ecopro as a standard model for measuring the efficiency of semiconductor/display greenhouse gas reduction devices participating in the greenhouse gas emission trading system project.

구분 규격
Model name / Measuring principle isepa-s / QMS
Detector Faraday CUP & Secondary Electron Multiplier
Filament Yttriated Iridium Or Tungsten
Mass range 0 ~ 200 amu (Max. range 1~500 amu)
Detection limit / resolution 5 ppm ± 3 % (at N2) / 1amu
Measuring gas H2, CH4, CO, CO2, N2, O2, He, Ne, Ar, Xe, Kr, SF6, CF4, NF3 etc
Inlet system Module Type inlet system
Main power AC220V, 12.5 A, 50/60 Hz, Single-phase
Operating Environment

Temperature : RT ~ 40℃

Humidity : 0 ~ 80 %(non-Condensing)

Elevation : 2,000 or less

Dimensions / Weight 471×195×260 (W×D×H, mm) / 15 kg
minimum detection partial pressure 2×10-12 mbar
Sensitivity 6×10-4 A/mbar (for Ar)
Mass filter 1 ea filter
Output data isepa-s program
communication protocol Interface RS-232-C LAN
Product Image

- 제품의 디자인은 고객의 요구에 따라 변경될 수 있습니다.