Process Chamber Monitoring​

반도체/디스플레이 산업의 실시간 공정모니터링 서비스

Real-time process monitoring service for the semiconductor/display industry

생산성 향상을 통한 원가절감은 반도체/디스플레이 산업의 주된 관심사입니다. Chamber내부와 배기가스의 성분 및 특정기체의 양을 분석하여 제조현장의 실시간 상태를 모니터링하고 실시간 데이터를 산출합니다.

Cost reduction through productivity improvement is the main concern of the semiconductor/display industry. It analyzes the inside of the chamber and exhaust gas and the amount of specific gas to monitor the real-time condition of the manufacturing site and calculate real-time data.

공정챔버 실시간 모니터링 기술

unique technology monitoring real-time data

이엘의 고유기술로 개발한 itof(Time Of Flight MS), ioes(Optical emission spectroscopy), iley(Avalanche Photo Diode)는 다양한 solution과 Application과 결합되어 최적화된 측정서비스를 제공합니다.

itof(Time Of Flight MS), ioes(Optical emission spectroscopy)and iley(Avalanche Photo Diode) developed with our unique technology, provide optimized measurement services in combination with various solutions and applications.