저 진공 극 미량 범용가스분석 시스템(QMS)

Multi-purpose gas analysis system(QMS)

isepa는 산소, 질소, 수소, 아르곤등의 가스와 그 외 가스들을 신뢰성있게 측정 할 수 있는 QMS(Quadrupole Mass spectrometer)분석시스템입니다. 보통 RGA(Residual Gas Analyzer)라고 부르기도 합니다.

isepa is a QMS(Quadrupole Mass Spectrometer) analysis system that can reliably measure gases such as oxygen, nitrogen, hydrogen, argon, and other gases. It is also commonly referred to as a residual gas analyzer(RGA).

Out-gasing 테스트 및 OLED 셀내부 가스 등 다양한 가스의 정량분석이 가능하며, 가스분석전문가가 아니어도 사용가능한 Full-automation SW로 구성되어 있습니다.

Quantitative analysis of various gases such as out-gasing test and gas inside OLED cell is possible.

채집된 시료의 분석 및 측정이 필요한 실험실에서 운용할 수 있는 고정형 가스분석 시스템으로 전자동 SW는 측정오차를 줄이고 양질의 분석데이터 도출이 가능합니다.

구분 규격
Model name / Measuring principle isepa / QMS
Detector Faraday CUP & Secondary Electron Multiplier
Filament Yttriated Iridium Or Tungsten
Inlet Type Batch type inlet(부피확산법)
Mass range 0 ~ 200 amu (Max. range 1~500 amu)
Detection limit / resolution 5 ppm ± 3 % (at N2) / 1amu
Mass filter 1 ea filter
Measuring gas H2, CH4, CO, CO2, N2, O2, He, Ne, Ar, Xe, Kr, SF6, CF4, NF3 etc
OS / Control Environment

Window 10 & Touch screen

Auto & manual control program

Main power AC220V, 12.5 A, 50/60 Hz, Single-phase
Operating Environment

Temperature : RT ~ 40℃

Humidity : 0 ~ 80 %(non-Condensing)

Elevation : 2,000 or less

Dimensions / Weight

Minimum operating space

950×780×1500 (W×D×H, mm) / 200 kg

1100×1400×1800 (W×D×H, mm)

Utility Air compressor (5 ~ 8 kgf/cm²) & N2 Standard
Product Image
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